发明公开
- 专利标题: 一种柔性不锈钢衬底铜铟镓硒薄膜电池及制备方法
- 专利标题(英): Flexible stainless steel substrate copper-indium-gallium-selenium film battery and preparation method thereof
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申请号: CN201110340793.8申请日: 2011-11-02
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公开(公告)号: CN102509737A公开(公告)日: 2012-06-20
- 发明人: 张毅 , 孙云 , 李博研 , 周志强 , 刘玮
- 申请人: 南开大学
- 申请人地址: 天津市南开区卫津路94号
- 专利权人: 南开大学
- 当前专利权人: 南开大学
- 当前专利权人地址: 天津市南开区卫津路94号
- 代理机构: 天津佳盟知识产权代理有限公司
- 代理商 侯力
- 主分类号: H01L31/0392
- IPC分类号: H01L31/0392 ; H01L31/0749 ; H01L31/18
摘要:
一种柔性不锈钢衬底铜铟镓硒薄膜太阳电池,为不锈钢箔衬底与多层膜组合结构,所述多层膜包括底电极、吸收层、缓冲层、本征ZnO层、掺铝ZnO层和栅电极并依次叠加构成,其制备方法:在不锈钢衬底上采用磁控溅射法沉积双层Mo背电极,采用三步共蒸发方法制备铜铟镓硒吸收层,用化学水浴法制备CdS缓冲层,用磁控溅射法制备本征ZnO层和掺铝ZnO层,用热蒸发法制备Ni/Al栅电极。本发明的优点是:该方法制备出具有(220)择优生长结构的铜铟镓硒薄膜,解决了阻挡层与其它接触层结合力差的问题,简化制备工艺;该薄膜太阳电池在AM1.5光照条件下,电池效率超过11.0%,应用到太阳电池领域具有重要的推动作用。
IPC分类: