发明公开
- 专利标题: 一种硅片取放装置
- 专利标题(英): Silicon chip taking and placing device
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申请号: CN201110394813.X申请日: 2011-12-02
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公开(公告)号: CN102509716A公开(公告)日: 2012-06-20
- 发明人: 王燕清
- 申请人: 无锡先导自动化设备股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市国家技术开发区新锡路20号
- 专利权人: 无锡先导自动化设备股份有限公司
- 当前专利权人: 无锡先导智能装备股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市国家技术开发区新锡路20号
- 代理机构: 无锡市大为专利商标事务所
- 代理商 殷红梅; 徐永雷
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683 ; H01L21/677
摘要:
本发明涉及一种取放硅片装置。吸盘固定在连接座上,吸盘上开设有多个气孔,连接座内设有凹腔;下端盖固定在连接座上,下端盖中心设有下通气孔,下通气孔与凹腔连通;阀体固定在下端盖上,阀体内设有环形进气腔,阀体中心开设有中间通气孔,环形进气腔与中间通气孔之间通过环形壁相隔,环形壁底部与下端盖顶部之间留有进气缝隙;上端盖固定在阀体上,上端盖下部的中心开设有上通气孔,上端盖上部开设有至少两个斜排气孔;第一接头连接在阀体一侧,第一接头与阀体内的环形进气腔连通;第二接头连接在阀体另一侧,第二接头通过第二进气通道与连接座内的凹腔连通。本发明结构巧妙、合理,在吸取或放开硅片时不会影响被吸硅片旁侧的硅片位置。
公开/授权文献
- CN102509716B 一种硅片取放装置 公开/授权日:2013-10-16
IPC分类: