一种硅片取放装置
摘要:
本发明涉及一种取放硅片装置。吸盘固定在连接座上,吸盘上开设有多个气孔,连接座内设有凹腔;下端盖固定在连接座上,下端盖中心设有下通气孔,下通气孔与凹腔连通;阀体固定在下端盖上,阀体内设有环形进气腔,阀体中心开设有中间通气孔,环形进气腔与中间通气孔之间通过环形壁相隔,环形壁底部与下端盖顶部之间留有进气缝隙;上端盖固定在阀体上,上端盖下部的中心开设有上通气孔,上端盖上部开设有至少两个斜排气孔;第一接头连接在阀体一侧,第一接头与阀体内的环形进气腔连通;第二接头连接在阀体另一侧,第二接头通过第二进气通道与连接座内的凹腔连通。本发明结构巧妙、合理,在吸取或放开硅片时不会影响被吸硅片旁侧的硅片位置。
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