发明授权

聚合物光波导电流传感器
摘要:
本发明涉及一种将热光学相位调制器、波导型偏振器、光耦合器等光学元件集成到一个基板上且测量电流大小的集成光学电流传感器。相比现有的由光纤构成的电流传感器,所提出的集成光学电流传感器体积小,同时可进行可靠性高的电流测量。并且提供一种可利用集成光学制造工艺来容易地量产电流传感器芯片的方法。
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