• 专利标题: 有源矩阵基板的制造装置和制造方法以及显示面板的制造装置和制造方法
  • 专利标题(英): Device And Method For Manufacturing Active Matrix Substrates, And Device And Method For Manufacturing Display Panels
  • 申请号: CN201080022018.1
    申请日: 2010-02-16
  • 公开(公告)号: CN102428378B
    公开(公告)日: 2014-07-30
  • 发明人: 田岛善光
  • 申请人: 夏普株式会社
  • 申请人地址: 日本大阪府
  • 专利权人: 夏普株式会社
  • 当前专利权人: 夏普株式会社
  • 当前专利权人地址: 日本大阪府
  • 代理机构: 北京市隆安律师事务所
  • 代理商 权鲜枝
  • 优先权: 2009-153743 2009.06.29 JP
  • 国际申请: PCT/JP2010/000926 2010.02.16
  • 国际公布: WO2011/001557 JA 2011.01.06
  • 进入国家日期: 2011-11-18
  • 主分类号: G01R31/00
  • IPC分类号: G01R31/00 G02F1/13 G02F1/1368 G09F9/00 G09F9/30
有源矩阵基板的制造装置和制造方法以及显示面板的制造装置和制造方法
摘要:
一种检测矩阵状地设有多个像素的有源矩阵基板的短路缺陷,修正该短路缺陷的有源矩阵基板的制造装置,具备:台座(30a),其载置成为有源矩阵基板的被检查基板(19);缺陷像素检测部(40a),其对载置于台座(30a)的被检查基板(19)输入检查用信号,电检测发生了短路缺陷的缺陷像素的坐标;以及缺陷位置确定部(50),其对载置于台座(30a)的被检查基板(19)输入检查用信号,使由缺陷像素检测部(40a)检测出的缺陷像素发热,并且用远红外区热像感知该像素缺陷的发热,确定缺陷像素的短路缺陷的位置。
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