• 专利标题: 一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统
  • 专利标题(英): Optical system for low-temperature scanning near-field optical microscope
  • 申请号: CN201110258114.2
    申请日: 2011-09-02
  • 公开(公告)号: CN102426270B
    公开(公告)日: 2013-04-10
  • 发明人: 赵华波林峰朱星
  • 申请人: 北京大学
  • 申请人地址: 北京市海淀区颐和园路5号
  • 专利权人: 北京大学
  • 当前专利权人: 北京大学
  • 当前专利权人地址: 北京市海淀区颐和园路5号
  • 代理机构: 北京万象新悦知识产权代理事务所
  • 代理商 张肖琪
  • 主分类号: G01Q60/18
  • IPC分类号: G01Q60/18 G02B7/04
一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统
摘要:
本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统,属于近场光学仪器制造领域。该低温SNOM的光学系统包括激光器、照明光纤、粗逼近步进马达、光学聚焦镜、音叉、针尖光纤、光谱仪和光电倍增管,粗逼近马达的移动部件为石英三棱柱,石英三棱柱的中心设有通孔,照明光纤穿过该通孔,光学聚焦镜固定在石英三棱柱的下表面,光学聚焦镜包括上下两个光学共轴的透镜,针尖光纤与音叉固定在光学聚焦镜下方,针尖光纤穿过光学聚焦镜后从镜筒侧壁开孔引出,通过光纤导入到光谱仪和光电倍增管。本发明无须再外加开放光路,使得真空腔体里光路调节简化。
公开/授权文献
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