发明授权
CN102426270B 一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统
- 专利标题(英): Optical system for low-temperature scanning near-field optical microscope
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申请号: CN201110258114.2申请日: 2011-09-02
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公开(公告)号: CN102426270B公开(公告)日: 2013-04-10
- 发明人: 赵华波 , 林峰 , 朱星
- 申请人: 北京大学
- 申请人地址: 北京市海淀区颐和园路5号
- 专利权人: 北京大学
- 当前专利权人: 北京大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区颐和园路5号
- 代理机构: 北京万象新悦知识产权代理事务所
- 代理商 张肖琪
- 主分类号: G01Q60/18
- IPC分类号: G01Q60/18 ; G02B7/04
摘要:
本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统,属于近场光学仪器制造领域。该低温SNOM的光学系统包括激光器、照明光纤、粗逼近步进马达、光学聚焦镜、音叉、针尖光纤、光谱仪和光电倍增管,粗逼近马达的移动部件为石英三棱柱,石英三棱柱的中心设有通孔,照明光纤穿过该通孔,光学聚焦镜固定在石英三棱柱的下表面,光学聚焦镜包括上下两个光学共轴的透镜,针尖光纤与音叉固定在光学聚焦镜下方,针尖光纤穿过光学聚焦镜后从镜筒侧壁开孔引出,通过光纤导入到光谱仪和光电倍增管。本发明无须再外加开放光路,使得真空腔体里光路调节简化。
公开/授权文献
- CN102426270A 一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统 公开/授权日:2012-04-25