用于测量超低气体流的装置
Abstract:
本发明公开了一种用于测量超低气体流的测量装置1,其通过液体置换的原理工作,其中所述测量装置1包括至少一个池2,至少一个池2包括气体流入设备3、具有预先确定的内部几何物理容积和有效容积的气体隔间设备4,所述气体隔间设备4具有一个气体积聚端5和一个提升端6,所述气体隔间设备4还在气体填充循环期间界定在所述气体隔间设备4的内部的几何气体收集点,所述几何气体收集点在所述气体填充循环期间逐渐远离所述气体积聚端5向所述提升端6运动,并且其中所述池2包括保持设备7,所述保持设备7具有枢轴转动元件8,所述枢轴转动元件8使所述气体隔间设备4能够在所述几何气体收集点被定位在所述提升端6处并且在所述提升端6处提升力大于下压力时向上枢轴转动,由此释放在所述气体隔间设备4中积聚的气体的全部,并且然后枢轴转动回至其初始待命位置,以在另一个气体填充循环期间进行气体的新的接收和储存直到下一个释放序列,并且其中所述池2还包括传感器设备9,所述传感器设备9被设置以在所述气体隔间设备4不在其初始待命位置时产生信号和/或改变信号的状态,其中所述气体隔间设备4的内部的气体储存容量在所述气体积聚端5处比在所述提升端6处大,并且其中在初始待命位置处所述气体积聚端5具有比所述提升端6高的竖直位置。
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