本发明涉及一种用于制造薄膜太阳能电池透明导电膜的设备及方法，属于薄膜太阳能电池技术领域。解决如何实现在低温沉积条件下制备具有高电导率的透明导电膜层。用于制造薄膜太阳能电池透明导电膜的设备，包括真空腔室、溅射靶、基片架、电源，溅射靶和基片架安装在真空腔室内，其特征是溅射靶和基片架之间设有阳极装置，该阳极装置的电位大于或等于基片架的电位。本发明克服了传统工艺和装置存在的膜层错位、有空穴等缺陷，使得膜层的电阻率降低到10-4Ω.cm数量级，实现了低温沉积高电导率的透明导电膜层。