发明授权
- 专利标题: 圆柱形嵌入式电容器
- 专利标题(英): Cylindrical embedded capacitors
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申请号: CN201010591726.9申请日: 2010-12-09
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公开(公告)号: CN102386240B公开(公告)日: 2013-12-11
- 发明人: 苏安治 , 谢棋君 , 王姿予 , 吴伟诚 , 胡宪斌 , 侯上勇 , 邱文智 , 郑心圃
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律师事务所
- 代理商 陆鑫; 熊须远
- 优先权: 12/873,931 2010.09.01 US
- 主分类号: H01L29/94
- IPC分类号: H01L29/94
摘要:
一种包括具有正面和正面对面的背面的基板的器件。电容器形成在基板中并且其包括第一电容板;环绕第一电容板的第一绝缘层;和环绕第一绝缘层的第二电容板。第一电容板,第一绝缘层,以及第二电容板的每一个都从基板的正面延伸到背面。
公开/授权文献
- CN102386240A 圆柱形嵌入式电容器 公开/授权日:2012-03-21
IPC分类: