发明授权
CN102362168B 观察设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: 观察设备
- 专利标题(英): Observation device
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申请号: CN201080012996.8申请日: 2010-03-16
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公开(公告)号: CN102362168B公开(公告)日: 2014-04-09
- 发明人: 新田尚
- 申请人: 索尼公司
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 索尼公司
- 当前专利权人: 索尼公司
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 康建峰; 唐京桥
- 优先权: 2009-078578 2009.03.27 JP
- 国际申请: PCT/JP2010/001876 2010.03.16
- 国际公布: WO2010/109811 JA 2010.09.30
- 进入国家日期: 2011-09-20
- 主分类号: G01N21/27
- IPC分类号: G01N21/27 ; G01N1/06 ; G01N21/01 ; G01N21/64 ; G01N35/00
摘要:
提供了一种用于使得高分辨率图像的观察成为可能的观察设备。观察设备(100)包括:样品保持器(8),用于保持样品(P);刀片(7),用于切削样品(P)并相继形成新的横截面;光学系统(3),其具有第一物镜(11)和第二物镜(12);以及电子摄影机(2),用于捕捉样品(P)的横截面的图像。主控制器(16)允许电子摄影机(2)使用第一物镜(11)捕捉与横截面的一部分相对应的局部图像。主控制器移动XY平台,从而改变样品(P)和光学系统(3)在XY平面上的相对位置,并且获取多个局部图像。图像处理单元针对每个横截面产生关于通过对局部图像进行合成而形成的合成图像的数据,并且将图像显示在显示单元上。这样一来,用户就可以观察高分辨率图像。
公开/授权文献
- CN102362168A 观察设备 公开/授权日:2012-02-22