二维光子晶体激光器及其制造方法
Abstract:
本发明的二维光子晶体激光器的特征在于,具有:在以AlαGa1-αAs(0<α<1)或(AlβGa1-β)γIn1-γP(0≤β<1、0<γ<1)作为原料的母材层内周期性地设置异折射率区域(空穴)(151)的二维光子晶体层(15)、和在二维光子晶体层(15)上利用外延法制作的外延生长层(16)。由于AlαGa1-αAs或(AlβGa1-β)γIn1-γP即使在高温下也很坚固,因此在制作外延生长层(16)时不会有破坏空穴(151)的形状的情况,可以将二维光子晶体层(15)的作为共振器的性能维持得较高。
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