表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备
摘要:
本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备,它们无论使用环境如何振荡稳定性都十分优异。SAW谐振器(10)利用了欧拉角为的石英基板(30),具有激励出SAW的IDT(12)和夹着IDT(12)的一对反射器(20);以及使电极指(18)之间的石英基板(30)凹陷而形成的槽(32),其中,在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时,满足0.01λ≤G,在设IDT(12)的线占有率为η时,槽(32)的深度G与线占有率η满足以下关系:-2×G/λ+0.72≤η≤-2.5×G/λ+0.7775,其中0.01λ≤G≤0.05λ;以及-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5×G/λ+0.7775,其中0.0500λ<G≤0.0695λ。
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