Invention Grant
- Patent Title: 用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置
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Application No.: CN201110183221.3Application Date: 2011-07-01
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Publication No.: CN102313819BPublication Date: 2017-04-26
- Inventor: R.诺伊尔 , A.弗兰克 , A.布曼 , M.恩格泽
- Applicant: 罗伯特·博世有限公司
- Applicant Address: 德国斯图加特
- Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee Address: 德国斯图加特
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 李永波; 梁冰
- Priority: 102010030878.1 20100702 DE
- Main IPC: G01P15/09
- IPC: G01P15/09 ; G01L9/08

Abstract:
本发明涉及一种用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置。该微机械的传感器装置包括基片、以活动的方式优选有弹性地布置在所述基片上的试验块、用于借助于压电效应将作用于所述试验块的力转换为优选电气的信号的转换装置、用于向所述试验块加载额外的力的力加载器件尤其电极、用于控制所述力加载器件的控制器件,其中所述控制器件如此控制所述力加载器件,从而暂时地尤其周期性地向所述试验块加载所述额外的力,并且本发明涉及一种相应的方法。
Public/Granted literature
- CN102313819A 用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置 Public/Granted day:2012-01-11
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IPC分类: