本发明公开了一种激光加CCD准直定位装置和方法，该装置包括大靶室、小靶室、T3靶室，大靶室与T3靶室之间、T3靶室与小靶室之间分别通过束流管道进行连接，大靶室中设置有样品架，大靶室后方设有准直望远镜，特别是该装置同时设有激光器和CCD，激光器采用固定偏心的方式安装在小靶室中，CCD通过CCD支架安装在大靶室入口的上方。激光器和CCD的结合使用使对中操作更准确，解决了单纯用CCD对中的视角位置偏差问题；由于增加了激光亮度调节功能，在大靶室不同亮度时，都很容易看清激光点。使用本发明进行准直定位，免去了电动平移台，减小了故障发生率，克服了以往激光对中法中的机械结构复杂、角度引起的位置偏差大等缺点。