发明授权
- 专利标题： 机械与化学交互作用测量装置
- 专利标题（英）： Device for measuring mechanical and chemical interactions
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申请号： CN201110080675.8申请日： 2011-03-31
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公开(公告)号： CN102252928B公开(公告)日： 2013-01-30
- 发明人: 路新春 , 李静 , 赵德文 , 王同庆 , 何永勇 , 雒建斌
- 申请人： 清华大学
- 申请人地址： 北京市海淀区清华园北京100084-82信箱
- 专利权人： 清华大学
- 当前专利权人： 华海清科股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区清华园北京100084-82信箱
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 王莹
- 主分类号： G01N3/56
- IPC分类号： G01N3/56 ; G01N17/02
摘要：
本发明涉及化学机械抛光技术领域，公开了一种机械与化学交互作用测量装置，包括机架、摩擦力测量部分、杠杆加载部分、往复直线运动的氮化硅小球和三电极部分。本发明的装置可以模拟腐蚀条件下的磨粒磨损性能，实现了同时在线测量电化学参数和机械参数；可以测量化学机械抛光过程中单纯的化学腐蚀量、机械磨损量以及交互作用去除量，从而对化学机械抛光过程中的材料去除机理进行研究。
公开/授权文献
- CN102252928A 机械与化学交互作用测量装置 公开/授权日：2011-11-23
