发明授权
CN102229265B 一种钛酸锶钡多层薄膜及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种钛酸锶钡多层薄膜及其制备方法
- 专利标题（英）： Barium strontium titanate multilayered film, and preparation method thereof
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申请号： CN201110109667.1申请日： 2011-04-29
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公开(公告)号： CN102229265B公开(公告)日： 2013-09-25
- 发明人: 常青 , 戴建明 , 朱雪斌 , 吴大俊 , 张伟杰 , 孙玉平
- 申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
- 申请人地址： 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- 专利权人： 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人： 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- 代理机构： 安徽合肥华信知识产权代理有限公司
- 代理商 余成俊
- 主分类号： B32B9/04
- IPC分类号： B32B9/04 ; C01G23/00
摘要：
本发明公开了一种钛酸锶钡多层薄膜及其制备方法，其主要是将一定的摩尔比的醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁酯溶于醋酸、乙二醇甲醚和乙酰丙酮溶液中分别配制成钡、锶比例不同的稳定前驱胶体，然后在硅基铂金等基片上交替进行匀胶、热处理，直到所需的厚度为止。本发明采用化学溶液沉积方法制备这一钛酸锶钡多层膜结构，获得了具有高调谐率和低的介电损耗的薄膜材料，可应用于微波调谐器件。
公开/授权文献
- CN102229265A 一种钛酸锶钡多层薄膜及其制备方法 公开/授权日：2011-11-02
