蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法
摘要:
本发明公开了一种蓝宝石衬底片精磨研磨液,由金刚石粉、水和悬浮液组成,金刚石粉、水和悬浮液的重量比=1∶10∶1,所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成,分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比=2∶5∶1,所述分散剂为高分子有机醇,所述悬浮剂为高分子化合物,所述防锈剂为碱。本发明由于采用了上述技术方案,所得研磨液均匀度好,利于研磨,可使加工结束后的晶片表面粗糙度大为改善,且减少了塌边的产生,大大提高加工效率,使得晶片平整度大为提高。
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