发明公开
- 专利标题: 蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法
- 专利标题(英): Fine grinding fluid for sapphire substrate and preparation method thereof
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申请号: CN201110097508.4申请日: 2011-04-19
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公开(公告)号: CN102212333A公开(公告)日: 2011-10-12
- 发明人: 李鹏
- 申请人: 浙江露笑光电有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市诸暨店口镇露笑路38号
- 专利权人: 浙江露笑光电有限公司
- 当前专利权人: 浙江露通机电有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市诸暨店口镇露笑路38号
- 代理机构: 杭州华鼎知识产权代理事务所
- 代理商 韩洪
- 主分类号: C09K3/14
- IPC分类号: C09K3/14
摘要:
本发明公开了一种蓝宝石衬底片精磨研磨液,由金刚石粉、水和悬浮液组成,金刚石粉、水和悬浮液的重量比=1∶10∶1,所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成,分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比=2∶5∶1,所述分散剂为高分子有机醇,所述悬浮剂为高分子化合物,所述防锈剂为碱。本发明由于采用了上述技术方案,所得研磨液均匀度好,利于研磨,可使加工结束后的晶片表面粗糙度大为改善,且减少了塌边的产生,大大提高加工效率,使得晶片平整度大为提高。
公开/授权文献
- CN102212333B 蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法 公开/授权日:2013-06-26