甲硅烷和四烷氧基硅烷的制造方法
摘要:
本发明涉及使通式(1)所示的烷氧基硅烷在包含碱金属氟化物的催化剂和催化剂活化剂的存在下、在气相中进行歧化反应的甲硅烷和四烷氧基硅烷的制造方法,HnSi(OR)4-n (1)(式中,R表示碳原子数1~6的烷基,n是1~3的整数。)。根据本发明的制造方法,通过液相中的烷氧基硅烷的歧化反应来制造甲硅烷和四烷氧基硅烷的方法,可以解决与溶剂难以分离的问题和由于反应非常慢而不适合工业制造的问题。
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