Invention Grant
- Patent Title: 感光性树脂组合物、使用其的物品以及负型图案形成方法
- Patent Title (English): Photosensitive resin composition, article using same, and method for forming negative pattern
-
Application No.: CN200980138968.8Application Date: 2009-10-01
-
Publication No.: CN102171612BPublication Date: 2014-07-23
- Inventor: 福田俊治 , 坂寄胜哉 , 片山麻美
- Applicant: 大日本印刷株式会社
- Applicant Address: 日本国东京都
- Assignee: 大日本印刷株式会社
- Current Assignee: 大日本印刷株式会社
- Current Assignee Address: 日本国东京都
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 蒋亭
- Priority: 2008-257633 2008.10.02 JP
- International Application: PCT/JP2009/067181 2009.10.01
- International Announcement: WO2010/038837 JA 2010.04.08
- Date entered country: 2011-03-31
- Main IPC: G03F7/004
- IPC: G03F7/004 ; G03F7/028 ; G03F7/038 ; G03F7/38 ; C07C271/24 ; C07D211/14 ; C07D295/20
Abstract:
本发明提供一种感光性树脂组合物，其为高灵敏度，不论聚酰亚胺母体的种类如何均得到溶解性对比度，结果可以保持充分的工艺余量，并且得到形状良好的图案。所述感光性树脂组合物，其中，含有由通式(I)表示的光产碱剂以及聚酰亚胺母体，通式(I)中，各符号如说明书中定义所示。通式(I)
Public/Granted literature
- CN102171612A 感光性树脂组合物、使用其的物品以及负型图案形成方法 Public/Granted day:2011-08-31
Information query
IPC分类:
