一种六硼化镧阴极的重复激活工艺
摘要:
本发明公开了一种六硼化镧阴极重复激活工艺,所述六硼化镧阴极因暴露于大气中的程度不同,其工作的动态真空度将有所区别,本发明根据动态真空系统的真空度变化;采用不同的加热温度及其加热时间,进行六硼化镧阴极重复激活工艺;本发明具体包括六大步骤。所述的六硼化镧阴极重复激活工艺,根据所述六硼化镧阴极暴露于大气中程度的不同,采取相关的操作步骤,恢复所述六硼化镧阴极的电子发射能力;这样一方面能够提高阴极的利用率,进一步提高电子器件阴极的使用寿命;另一方面能够降低电子器件产品的生产要求及生产成本。
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