发明授权
CN102097521B 曲面结构的硅漂移探测器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 曲面结构的硅漂移探测器
- 专利标题(英): Silicon drift detector with curved surface structure
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申请号: CN201010523325.X申请日: 2010-10-22
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公开(公告)号: CN102097521B公开(公告)日: 2013-03-06
- 发明人: 蔡璐 , 于民 , 羊晋 , 王金延 , 金玉丰
- 申请人: 北京大学
- 申请人地址: 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
- 专利权人: 北京大学
- 当前专利权人: 北京大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
- 代理机构: 北京君尚知识产权代理事务所
- 代理商 邵可声
- 主分类号: H01L31/115
- IPC分类号: H01L31/115 ; G01T1/24 ; H01L31/0224 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种曲面结构的硅漂移探测器。本发明的硅漂移探测器包括N型硅片,位于所述N型硅片的入射面的P型漂移电极,施加于所述入射面的反向偏置电压,和位于所述N型硅片的背面的阳极,其特征在于,所述硅漂移探测器还包括位于所述N型硅片的背面的P型曲面漂移电极,所述曲面从距离所述阳极设定的距离处向外围凹陷。本发明还公开了一种硅漂移探测器的制造方法,在该方法中,所需的曲面通过用腐蚀剂腐蚀基底表面而得到。本发明可用于X射线光谱分析,可用于空间探测等技术领域。
公开/授权文献
- CN102097521A 曲面结构的硅漂移探测器 公开/授权日:2011-06-15
IPC分类: