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发明公开
CN102084421A 光信息记录介质用反射膜及光信息记录介质反射膜形成用溅射靶材 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 光信息记录介质用反射膜及光信息记录介质反射膜形成用溅射靶材
  • 专利标题（英）： Reflecting film for optical information recording medium, and sputtering target for forming reflecting film for optical information recording medium
  • 申请号： CN200980125743.9
    申请日： 2009-09-03
  • 公开(公告)号： CN102084421A
    公开(公告)日： 2011-06-01
  • 发明人: 兹幸范洋 , 中井淳一 , 田内裕基
  • 申请人： 株式会社神户制钢所
  • 申请人地址： 日本兵库县
  • 专利权人： 株式会社神户制钢所
  • 当前专利权人： 株式会社神户制钢所
  • 当前专利权人地址： 日本兵库县
  • 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
  • 代理商 张宝荣
  • 优先权： 2008-228902 2008.09.05 JP
  • 国际申请： PCT/JP2009/065431 2009.09.03
  • 国际公布： WO2010/027026 JA 2010.03.11
  • 进入国家日期： 2010-12-31
  • 主分类号： G11B7/258
  • IPC分类号： G11B7/258
光信息记录介质用反射膜及光信息记录介质反射膜形成用溅射靶材
摘要：
本发明提供反射膜表面高精度再现形成于基板上的凹槽或凹点等，实现光信息记录介质的噪声的减小，并且具有高的反射率的Al基合金反射膜，以及对形成这样的反射膜有用的溅射靶材。本发明的光信息记录介质用反射膜用于光信息记录介质，实质上由含有2.0～15.0原子％的稀土类元素的Al基合金形成，反射膜的厚度方向的微晶尺寸为30nm以下。
摘要（英）：

The present invention provides an Al-based alloy reflecting film which reduces noise on an optical information recording medium by having a reflecting film surface accurately reproduce grooves, pits and the like formed on a substrate, and has high reflectivity. A sputtering target which is effective for forming such a reflecting film is also provided. The reflecting film to be used for the optical information recording medium is substantially composed of an Al-based alloy containing 2.0-15.0 atm% of a rare-earth element, and has a crystallite size of 30 nm or smaller in the thickness direction of the reflecting film.

公开/授权文献
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