一种纳光子直写头精密旋转定位调焦系统
摘要:
一种纳光子直写头精密旋转定位调焦系统,属于直写光刻设备领域,(1)直写头调节装置可以进行纳米级Z向移动;(2)直写头调节装置可以进行0~90°转动;(3)基片台可以进行高速转动;(4)直写头悬臂具有一定弹性变形量;(5)直写头采用空气动力学原理设计结构,可以在基片台转动产生的气流作用下浮起基片表面。基片台高速转动时产生的气流可以实现直写头浮起基片表面几十纳米范围,保证光刻时两者距离处于近场倏逝波作用范围,突破衍射极限限制,实现高分辨力的光刻结果。
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