本发明涉及隔板反应精馏设备及综合利用二氯二氢硅和四氯化硅的工艺。隔板反应精馏设备，包括隔板反应精馏塔主塔、塔顶冷凝器、塔底再沸器及塔底料循环泵；反应精馏塔主塔中设置一块垂直挡板将其分割为四部分：公共精馏段，公共提馏段，反应预分离段和采出段；反应预分离段分为四段B\C\E\F段，采出段分为两段D\G段；C\E段填充反应催化剂，起到反应精馏作用，其他部分为高效规整填料或塔板，起到精馏分离作用。利用价值较低的二氯二氢硅和四氯化硅制备高应用价值的三氯氢硅，提高原料应用率，同时解决了二氯二氢硅和四氯化硅富集的问题。隔板反应精馏工艺将反应精馏+分离提纯的多座塔整合到一座隔板反应精馏塔中，节省了塔的设备投资，降低了能耗。