本发明属于纳米管器件技术领域，涉及一种电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法，包括下列步骤：将需要刚度优化的悬空纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上；通过电子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测，调整聚焦电子束设备的工作距离；加热金属有机化合物使其变成气态，并使金属有机化合物气体流过悬空纳米管器件；然后开启聚焦电子束设备的聚焦电子束发生器，对纳米管器件的局部或全部进行电子束扫描照射；在电子束指定照射区域，在电子束的照射轰击下，金属化合物气体被分解，金属沉积物沉积到受电子束照射的纳米管上；达到预期沉积参数后，停止电子束照射，关闭金属有机化合物气体阀门，并停止对其加热。本发明提出的方法稳定可靠，对悬空纳米管器件可实现不同特征结构的横向刚度控制，定位精度高、灵活性好。