提供一种薄膜光电转换装置用基板，能够以低成本且高效率地生产具有被改善的特性的薄膜光电转换装置。薄膜光电转换装置用基板的特征在于，包括透明基体、以及在其一个主面上依次层叠的透明衬底层和透明电极层，该衬底层包括透明绝缘微粒和透明粘合剂，这些透明绝缘微粒分散为以30％以上且小于80％的覆盖率覆盖该透明基体的一个主面，透明基体的另一个主面上具有反射防止层，该反射防止层包括透明绝缘微粒和透明粘合剂，这些透明绝缘微粒分散为以比衬底层高的覆盖率覆盖另一个主面，透明电极层包括通过低压CVD而沉积的氧化锌。