介电涂层在半导体基材上的电沉积
摘要:
一种方法包括:将半导体基材浸入电沉积组合物,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶组分,和在所述基材与所述组合物之间施加电压,从而在基材上形成介电涂层。一种用于电沉积的组合物包括树脂共混物、聚结溶剂、催化剂、水和高度交联的微凝胶,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶。另一种用于电沉积的组合物包括表面活性剂共混物、低离子多元醇、苯氧基丙醇、催化剂、水、增韧剂和高度交联的微凝胶,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶。
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