发明授权
CN102016131B 介电涂层在半导体基材上的电沉积
失效 - 权利终止
- 专利标题: 介电涂层在半导体基材上的电沉积
- 专利标题(英): Electrodeposition of dielectric coatings on semiconductor substrates
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申请号: CN200980114874.7申请日: 2009-03-18
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公开(公告)号: CN102016131B公开(公告)日: 2012-12-26
- 发明人: K·L·摩尔 , M·J·鲍里克 , M·G·桑德拉 , C·A·威尔逊
- 申请人: PPG工业俄亥俄公司
- 申请人地址: 美国俄亥俄州
- 专利权人: PPG工业俄亥俄公司
- 当前专利权人: PPG工业俄亥俄公司
- 当前专利权人地址: 美国俄亥俄州
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 陈宙
- 优先权: 61/037,814 2008.03.19 US; 12/405,299 2009.03.17 US
- 国际申请: PCT/US2009/037489 2009.03.18
- 国际公布: WO2009/117475 EN 2009.09.24
- 进入国家日期: 2010-10-26
- 主分类号: C25D7/12
- IPC分类号: C25D7/12 ; C25D13/04 ; C25D13/22 ; C09D5/44
摘要:
一种方法包括:将半导体基材浸入电沉积组合物,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶组分,和在所述基材与所述组合物之间施加电压,从而在基材上形成介电涂层。一种用于电沉积的组合物包括树脂共混物、聚结溶剂、催化剂、水和高度交联的微凝胶,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶。另一种用于电沉积的组合物包括表面活性剂共混物、低离子多元醇、苯氧基丙醇、催化剂、水、增韧剂和高度交联的微凝胶,其中所述组合物中至少20重量%的树脂固体是高度交联的微凝胶。
公开/授权文献
- CN102016131A 介电涂层在半导体基材上的电沉积 公开/授权日:2011-04-13