晶片堆叠、集成电路器件及其制造方法
Abstract:
一种集成光学器件(10)和一种用于通过凭借在包括另外的功能元件(9c)的至少一个另外的晶片(4)上堆叠至少承载作为功能元件的多个透镜(9a、9b)的顶部晶片(2)来产生晶片堆叠(8)、并将该晶片堆叠(8)分离成多个集成光学器件(10)而制造集成光学器件(10)的方法,其中,所述顶部晶片和另外的晶片(2、4)的相应功能元件相互对准并限定多个主光轴(14),提供遮光板作为集成光学器件(10)的一部分,包括步骤:提供包括多个通孔(6)的遮光板(1),所述通孔(6)被布置为对应于顶部晶片(2)上的功能元件的布置;将遮光板(1)堆叠在顶部晶片(2)上,通孔(6)与所述主光轴(14)对准。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0