具同心圆探针座的半导体测试设备
摘要:
一种具同心圆探针座的半导体测试设备,包括有一基座、一测试头、一外环针座、以及一内环针座。其中,内环针座先套设于外环针座的内环面内,内环针座的卡合凹槽对应连结至外环针座的径向凸柱,外环针座与内环针座一同组设于测试头的测试载板上,外环针座的复数个外环探针与内环针座的复数个内环探针分别与测试载板电性连接。因此,本发明由内环针座与外环针座组合或分离,而达到扩充测试的功效,故可选用两种不同规格的探针卡进行测试,无须更改其它硬件,即能达到快速变换测试规格的目的,以能提升测试机台的竞争力。
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