制造微型流体装置的方法
摘要:
本发明提供了一种制造微型流体装置的方法,所述方法包括:提供一个模;将软化的玻璃或可陶瓷化的玻璃的片置于所述模上;对所述片施加不同的气体压力,使所述片与所述模贴合,由此在所述片的至少一个表面上形成微型通道;通过在所述模上粘结一块玻璃或可陶瓷化的玻璃的片,在所述片的至少一个表面上基本封盖所述微型通道。
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