电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置
摘要:
本发明涉及一种电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置,复杂可编程逻辑器件分别与串口通信等电路连接,串口通信电路与工控机连接,两路同步波形发生电路由数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路组成,两路功率放大电路与电磁偏转线圈连接;时钟电路经过复杂可编程逻辑器件分频,产生多种频率的时钟分别用于串口通信、采集卡控制和频率可变的波形发生;工控机经过串口通信电路控制复杂可编程逻辑器件,在时钟电路的触发下,复杂可编程逻辑器件产生两路波形的数字量,放大后的信号驱动电磁偏转线圈产生磁场使电子束偏转扫描。本发明使电子束偏摆扫描的控制精度高,而且数字电路可以极大的提高装置的抗干扰能力。
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