一种基于MEMS技术的压力开关
摘要:
本发明涉及一种基于MEMS技术的压力开关。其包括底座及管帽;管帽上设有引压口;底座上设有凹槽,底座的另一端设有电缆孔;电缆孔内设有电缆;凹槽内设有转接组件,转接组件上设有敏感组件;转接组件包括支撑体,支撑体上设有下导流孔及导电柱;敏感组件包括固支体及硅片;硅片上设有金属层,硅片的下部凹设有弹性槽,弹性槽间形成凸台,凸台上设有上电极;固支体上设有导流孔;固支体两端的表面及上导流孔的内壁形成下电极;下电极及金属层分别通过内引线与支撑体上对应的导电柱电连接;导电柱分别与连接导线电连接。本发明结构简单,一致性好、成本低廉、结构简单、易于和后续电路集成在一起,进行信号调理、转换及网络化;适用范围广。
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