发明授权
- 专利标题: 一种基于MEMS技术的压力开关
- 专利标题(英): Pressure switch based on micro-electromechanical system technology
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申请号: CN201010237300.3申请日: 2010-07-22
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公开(公告)号: CN101964272B公开(公告)日: 2012-09-26
- 发明人: 王善慈 , 张谦 , 张宝元 , 蔺广恒 , 王焱秋 , 蔡轩然
- 申请人: 张谦 , 王焱秋
- 申请人地址: 江苏省无锡市滨湖区百合花园A31幢
- 专利权人: 张谦,王焱秋
- 当前专利权人: 南京日新科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市滨湖区百合花园A31幢
- 代理机构: 无锡市大为专利商标事务所
- 代理商 殷红梅
- 主分类号: H01H35/34
- IPC分类号: H01H35/34 ; B81B3/00
摘要:
本发明涉及一种基于MEMS技术的压力开关。其包括底座及管帽;管帽上设有引压口;底座上设有凹槽,底座的另一端设有电缆孔;电缆孔内设有电缆;凹槽内设有转接组件,转接组件上设有敏感组件;转接组件包括支撑体,支撑体上设有下导流孔及导电柱;敏感组件包括固支体及硅片;硅片上设有金属层,硅片的下部凹设有弹性槽,弹性槽间形成凸台,凸台上设有上电极;固支体上设有导流孔;固支体两端的表面及上导流孔的内壁形成下电极;下电极及金属层分别通过内引线与支撑体上对应的导电柱电连接;导电柱分别与连接导线电连接。本发明结构简单,一致性好、成本低廉、结构简单、易于和后续电路集成在一起,进行信号调理、转换及网络化;适用范围广。
公开/授权文献
- CN101964272A 一种基于MEMS技术的压力开关 公开/授权日:2011-02-02