Invention Grant
- Patent Title: 杯芳烃混合分子玻璃光致抗蚀剂及使用方法
- Patent Title (English): Calixarene blended molecular glass photoresists and process of use
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Application No.: CN201010237847.3Application Date: 2010-07-23
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Publication No.: CN101963758BPublication Date: 2013-04-17
- Inventor: L·D·伯扎诺 , 伊藤淳子 , L·K·桑德伯格
- Applicant: 国际商业机器公司
- Applicant Address: 美国纽约阿芒克
- Assignee: 国际商业机器公司
- Current Assignee: 格芯美国第二有限责任公司
- Current Assignee Address: 美国纽约阿芒克
- Agency: 北京市金杜律师事务所
- Agent 陈文平; 徐志明
- Priority: 12/507,968 2009.07.23 US
- Main IPC: G03F7/039
- IPC: G03F7/039 ; G03F7/00
Abstract:
本发明公开了杯芳烃混合分子的玻璃光致抗蚀剂及使用方法。本发明公开了光致抗蚀剂组合物，包括：至少一种完全保护的杯[4]间苯二酚芳烃和至少一种未保护的杯[4]间苯二酚芳烃的混合物，其中，完全保护的杯[4]间苯二酚芳烃具有用酸不稳定的保护基保护的酚基；光酸产生剂；和溶剂，其中，所述混合物和光酸产生剂可溶于该溶剂中。本发明还公开了使用该光致抗蚀剂组合物在基底上产生抗蚀剂图像的方法。
Public/Granted literature
- CN101963758A 杯芳烃混合分子玻璃光致抗蚀剂及使用方法 Public/Granted day:2011-02-02
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IPC分类:
