发明公开
CN101962799A 光伏多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置
无效 - 撤回
- 专利标题: 光伏多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置
- 专利标题(英): Crystal growth speed automatic measurement device for photovoltaic polycrystalline silicon ingot casting furnace
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申请号: CN201010260251.5申请日: 2010-08-23
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公开(公告)号: CN101962799A公开(公告)日: 2011-02-02
- 发明人: 于庆广 , 翟志华 , 冯龑
- 申请人: 清华大学 , 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 , 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 专利权人: 清华大学,江西旭阳雷迪高科技股份有限公司,江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
- 当前专利权人: 清华大学,江西旭阳雷迪高科技股份有限公司,江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 廖元秋
- 主分类号: C30B11/00
- IPC分类号: C30B11/00 ; C30B28/06
摘要:
本发明涉及光伏多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置,包括:伺服电机、运动控制器、伺服驱动器、石英棒;所述石英棒通过机械装置安装在光伏多晶硅铸锭炉体内坩埚的上方并能沿垂直方向移动;所述运动控制器通过运动控制总线与伺服驱动器双向连接,伺服驱动器的信号输出端通过电源控制线与伺服电机的信号输入端连接,伺服驱动器的信号输入端通过轴编码器反馈线与伺服电机的信号输出端连接,伺服电机的转动输出轴通过传动机构与石英棒相连。本发明具有测量精度高、调试整定方便的特点,可提高多晶硅铸锭质量,实现长晶速度测量自动化。
IPC分类: