一种改性的回收切割液
摘要:
本发明提供一种改性的回收切割液,它由以下重量百分比的组分组成:90~99.98%的回收切割液、0.01~9%的抗极压螯合防沉剂和0.01~1%的非离子表面活性剂。本发明的改性的回收切割液是将回收切割液中添加功能组分,克服了使用回收液带来的切片质量问题。有效地解决了100%直接使用回收液硅片难清洗、易产生污片问题;并且有效地降低了硅片表面损伤,提高切片成品率。使用本发明的改性的回收切割液能够有效地降低切割成本,实现废切割液变废为宝,减少环境污染并实现资源的重复利用。
公开/授权文献
0/0