发明授权
- 专利标题: 一种改性的回收切割液
- 专利标题(英): Modified recovered cutting fluid
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申请号: CN201010500971.4申请日: 2010-10-09
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公开(公告)号: CN101935577B公开(公告)日: 2012-11-21
- 发明人: 朱建民 , 刘兆滨 , 董振鹏 , 仲崇纲 , 宋恩军 , 富扬
- 申请人: 辽宁奥克化学股份有限公司
- 申请人地址: 辽宁省辽阳市宏伟区东环路29号
- 专利权人: 辽宁奥克化学股份有限公司
- 当前专利权人: 辽宁奥克化学股份有限公司
- 当前专利权人地址: 辽宁省辽阳市宏伟区东环路29号
- 代理机构: 北京万科园知识产权代理有限责任公司
- 代理商 张亚军; 夏新
- 主分类号: C10M169/04
- IPC分类号: C10M169/04
摘要:
本发明提供一种改性的回收切割液,它由以下重量百分比的组分组成:90~99.98%的回收切割液、0.01~9%的抗极压螯合防沉剂和0.01~1%的非离子表面活性剂。本发明的改性的回收切割液是将回收切割液中添加功能组分,克服了使用回收液带来的切片质量问题。有效地解决了100%直接使用回收液硅片难清洗、易产生污片问题;并且有效地降低了硅片表面损伤,提高切片成品率。使用本发明的改性的回收切割液能够有效地降低切割成本,实现废切割液变废为宝,减少环境污染并实现资源的重复利用。
公开/授权文献
- CN101935577A 一种改性的回收切割液 公开/授权日:2011-01-05
IPC分类: