发明授权
CN101917110B 线性电动机磁屏蔽件设备
失效 - 权利终止
- 专利标题： 线性电动机磁屏蔽件设备
- 专利标题（英）： Linear motor magnetic shield apparatus
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申请号： CN200910258374.2申请日： 2009-12-14
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公开(公告)号： CN101917110B公开(公告)日： 2013-04-10
- 发明人: K·K·曼卡拉 , R·B·维纳 , P·K·果维欧 , A·尼尔森
- 申请人： ASML控股股份有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML控股股份有限公司
- 当前专利权人： ASML控股股份有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王新华
- 优先权： 61/141,863 2008.12.31 US
- 主分类号： H02K41/02
- IPC分类号： H02K41/02 ; G03F7/20
摘要：
本发明提供一种线性电动机磁屏蔽件设备。在该设备中，具有无磁性间隙的磁屏蔽件为精确定位系统中的线性电动机排列提供减小的磁性串扰。重新引导漏磁通抑制了串扰和相关的有害效应。这种优选的泄漏的磁通路路径被附于线性电动机的移动的磁体系统。通过提供由永磁体和背铁之间的无磁性间隙隔离的铁磁性屏蔽件，实现优选的磁通泄漏路径的实施例。在另一实施例中，铁磁性屏蔽件隔离包括反磁材料。
公开/授权文献
- CN101917110A 线性电动机磁屏蔽件设备 公开/授权日：2010-12-15
