发明公开
- 专利标题: 一种利用磁控溅射法制备NbTi薄膜的方法
- 专利标题(英): Method for preparing NbTi film by utilizing magnetron sputtering method
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申请号: CN201010259803.0申请日: 2010-08-23
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公开(公告)号: CN101914753A公开(公告)日: 2010-12-15
- 发明人: 贾小氢 , 刘晓宇 , 康琳 , 吴培亨
- 申请人: 南京大学
- 申请人地址: 江苏省南京市汉口路22号
- 专利权人: 南京大学
- 当前专利权人: 南京大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市汉口路22号
- 代理机构: 南京苏高专利商标事务所
- 代理商 柏尚春
- 主分类号: C23C14/14
- IPC分类号: C23C14/14 ; C23C14/35
摘要:
本发明公开了一种利用磁控溅射法制备NbTi薄膜的方法,包括以下步骤:(1)靶材选取,选取纯度为99.9%的块状NbTi作为磁控溅射的靶材,纯Nb和纯Ti的质量比是53∶47,将靶材放入磁控溅射室;(2)衬底处理,对衬底依次用超声波和丙酮清洗,抛光后放入磁控溅射室;(3)制备NbTi薄膜,磁控溅射室的真空度小于等于2×10-5Pa,工作气体是氩气,调节溅射气压、溅射电流、沉积速率、衬底温度和靶材到衬底的距离,经过一定时间溅射制备薄膜。本发明制备的NbTi薄膜具有良好的超导特性和实用价值,同时加AlN保护层的NbTi薄膜相对未加保护层的NbTi薄膜超导特性有进一步提升。
IPC分类: