基于光束三角的倾斜自适应位移测量方法
摘要:
一种基于光束三角的倾斜自适应位移测量方法,涉及精密检测技术领域,所解决的是提高测量精度的技术问题。该方法先将测量光斑像与基准光斑像进行比较,计算出被测物体的位移误差曲线函数;再根据测量光斑像在光接收器件上的位置,计算出被测物体的位移信息;然后根据被测物体的位移误差曲线函数,对被测物体的位移信息进行补偿,得出被测物体的最终位移测量结果。本发明提供的方法,能够对被测物体表面的各种物面倾斜所引起的测量误差进行自适应的误差补偿,能提高测量精度。
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