提供了对集成电路建模的方法、数据处理系统和对集成电路建模的系统。根据一个实施例，接收包括具有多个端子的制造晶体管在内的制造集成电路的多个经验测量。所述多个经验测量每个包括针对制造晶体管的端子的经验端子电流集和经验端子电压集。还接收被仿真晶体管的数学仿真模型。利用所述数学仿真模型，通过对于多个不同的端子电压集的每个确定仿真端子电流集和仿真端子电荷集来计算中间数据集。建模工具处理所述中间数据集以获得制造晶体管的时域仿真模型，该时域仿真模型对于所述多个经验测量的每个提供仿真端子电荷集。将所述时域仿真模型存储在计算机可读数据存储介质中。