整合型无源元件及其制造方法
摘要:
本发明公开一种整合型无源元件及其制造方法,所述整合型无源元件在一基板的上表面依序堆迭一第一绝缘层、一第二绝缘层及一第三绝缘层。所述第一绝缘层内具有一第一电路层,其包含至少一电容结构及至少一电阻结构。所述第二绝缘层内具有一第二电路层,其厚度介于5至50微米之间,并形成至少一第一电感结构。所述第三绝缘层内具有一第三电路层,其厚度介于5至25微米之间,并形成至少一第二电感结构。所述整合型无源元件可以采用半导体后段封装基板的设备来制造,使其具有厚度大于5微米的电感结构,进而有利于降低电感损耗、提高电感效率,并可提高无源元件整合密度及缩小元件体积。
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