发明授权
- 专利标题: 整合型无源元件及其制造方法
- 专利标题(英): Integration-type passive element and manufacturing method thereof
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申请号: CN200910128829.9申请日: 2009-03-12
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公开(公告)号: CN101834178B公开(公告)日: 2012-08-08
- 发明人: 苏清辉 , 杨学安
- 申请人: 日月光半导体制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾高雄市楠梓加工区经三路26号
- 专利权人: 日月光半导体制造股份有限公司
- 当前专利权人: 日月光半导体制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾高雄市楠梓加工区经三路26号
- 代理机构: 上海翼胜专利商标事务所
- 代理商 翟羽
- 主分类号: H01L27/01
- IPC分类号: H01L27/01 ; H01L27/04 ; H01L27/12 ; H01L21/02
摘要:
本发明公开一种整合型无源元件及其制造方法,所述整合型无源元件在一基板的上表面依序堆迭一第一绝缘层、一第二绝缘层及一第三绝缘层。所述第一绝缘层内具有一第一电路层,其包含至少一电容结构及至少一电阻结构。所述第二绝缘层内具有一第二电路层,其厚度介于5至50微米之间,并形成至少一第一电感结构。所述第三绝缘层内具有一第三电路层,其厚度介于5至25微米之间,并形成至少一第二电感结构。所述整合型无源元件可以采用半导体后段封装基板的设备来制造,使其具有厚度大于5微米的电感结构,进而有利于降低电感损耗、提高电感效率,并可提高无源元件整合密度及缩小元件体积。
公开/授权文献
- CN101834178A 整合型无源元件及其制造方法 公开/授权日:2010-09-15
IPC分类: