发明授权
- 专利标题: 振动片和振子
- 专利标题(英): Resonator element and resonator
-
申请号: CN201010115312.9申请日: 2010-02-11
-
公开(公告)号: CN101807897B公开(公告)日: 2013-03-06
- 发明人: 石井昌宏 , 舟川刚夫
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 黄纶伟
- 优先权: 2009-029895 2009.02.12 JP
- 主分类号: H03H9/205
- IPC分类号: H03H9/205
摘要:
本发明提供振动片和振子。利用振动片的正面和背面来配置配线,容易实现振动片的小型化。该振动片具有:下部电极(21,22,23),其设置在振动臂(11,12,13)的在厚度方向上相对的第1面(16a)和第2面(16b)中的第1面(16a)上;压电膜(31,32,33),其形成在下部电极(21,22,23)的上方;上部电极(51,52,53),其形成在下部电极(21,22,23)和压电膜(31,32,33)的上方;配线(28,58),其与下部电极(21,22,23)和上部电极(51,52,53)连接,与上部电极(51,52,53)连接的配线(58)以围住振动臂(11,12,13)的方式经由振动臂(11,12,13)的侧面被引出至振动臂(11,12,13)的第2面(16b)。
公开/授权文献
- CN101807897A 振动片和振子 公开/授权日:2010-08-18
IPC分类: