振动片和振子
摘要:
本发明提供振动片和振子。利用振动片的正面和背面来配置配线,容易实现振动片的小型化。该振动片具有:下部电极(21,22,23),其设置在振动臂(11,12,13)的在厚度方向上相对的第1面(16a)和第2面(16b)中的第1面(16a)上;压电膜(31,32,33),其形成在下部电极(21,22,23)的上方;上部电极(51,52,53),其形成在下部电极(21,22,23)和压电膜(31,32,33)的上方;配线(28,58),其与下部电极(21,22,23)和上部电极(51,52,53)连接,与上部电极(51,52,53)连接的配线(58)以围住振动臂(11,12,13)的方式经由振动臂(11,12,13)的侧面被引出至振动臂(11,12,13)的第2面(16b)。
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