氢气的供给装置及供给方法、石英玻璃制造装置
摘要:
一种对石英玻璃制造装置供给氢气的供给装置,此石英玻璃制造装置具备供给氢气而产生氢氧焰的燃烧器,且所述供给装置具备:第一氢供给系统,其供给同位素的含有比处于平衡状态的氢气;第二氢供给系统,其供给同位素的含有比偏离平衡状态的氢气;阀门,其改变对燃烧器供给的氢气的流量;第一流量测量器,其基于热容量测量来测量氢气的流量;流量控制部,其具有对用以使第一流量测量器的测量值接近于由外部提供的设定值的阀门进行控制的控制部;第二流量测量器,其根据热容量以外的要素来测量氢气的流量;及设定值修正部,其将通过第一流量测量器的测量值与第二流量测量器的测量值的比乘以设定值来修正而得的设定值设定在控制部中。
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