• 专利标题: 使用工艺气的共形屏蔽工艺
  • 专利标题(英): Conformal shielding process using process gases
  • 申请号: CN200880104171.1
    申请日: 2008-06-25
  • 公开(公告)号: CN101803017B
    公开(公告)日: 2012-10-03
  • 发明人: D·J·利希W·R·小沃伦S·帕克
  • 申请人: 射频小型装置公司
  • 申请人地址: 美国北卡罗来纳州
  • 专利权人: 射频小型装置公司
  • 当前专利权人: QORVO美国公司
  • 当前专利权人地址: 美国北卡罗来纳州
  • 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
  • 代理商 李娜; 蒋骏
  • 优先权: 60/946,453 2007.06.27 US; 60/978,006 2007.10.05 US; 11/952,634 2007.12.07 US
  • 国际申请: PCT/US2008/068153 2008.06.25
  • 国际公布: WO2009/003018 EN 2008.12.31
  • 进入国家日期: 2010-02-24
  • 主分类号: H01L23/552
  • IPC分类号: H01L23/552
使用工艺气的共形屏蔽工艺
摘要:
在一个实施例中,在衬底上形成具有针对两个或两个以上模块的电路的元模块,其中所述衬底优选地为层压衬底。所述不同模块的电路最初被形成在单个元模块上。每个模块都将具有一个或多个其中形成有电路的部件区域。针对每个将被屏蔽的部件,在该衬底上或者在该衬底中形成金属结构。然后,单个本体、比如包覆成型本体被形成在该元模块上的所有模块上之上。然后,通过切割、钻孔等等操作使每个将被屏蔽的部件区域的金属结构的至少一部分穿过该本体而暴露。接着,电磁屏蔽材料被应用于每个将被屏蔽的部件区域的本体的外表面,并且接触所述金属结构的暴露部分。
公开/授权文献
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