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用于检查光学设备的装置
摘要:
一种用于检查光学设备的装置,包括:(a)利用具有第一带宽的光照明所述光学设备中心区域的装置;(b)利用具有第二带宽的光照明所述光学设备边缘的装置;(c)在感光性象素阵列上用于捕捉装置(a)和(b)的透射通过所述光学设备的光的装置;(d)用于读取根据装置(c)产生的象素以检查所述光学设备的装置。
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