发明公开

导电体层的制造方法
摘要:
本发明提供能够以良好的生产性制造导电性良好且透明度良好的氧化钛系导电体层的方法。该方法是在将基体加热的状态下,在该基体上依次形成由添加了Nb等掺杂剂的氧化钛构成的第1层和第2层,藉此形成导电体层。第1层以形成为含多晶且该多晶不含金红石型结晶的层的成膜条件形成。直接在基体上形成第2层时,以获得含多晶且该多晶含金红石型结晶的层的成膜条件形成。
0/0