微谐振器系统及其制造方法
摘要:
本发明的多个实施例涉及可用作激光器、调制器以及光检测器的微谐振器系统以及用于制造微谐振器系统的方法。在一个实施例中,一种微谐振器系统(100)包括具有顶表面层(104)的衬底(106)、埋入衬底(106)的至少一个波导(114,116)以及微盘(102),该微盘(102)具有顶层(118)、中间层(122)、底层(120)、电流隔离区(128)以及外围环形区(124,126)。微盘(102)的底层(120)与衬底(106)的顶表面层(104)电连接,且被定位成使外围环形区(124,126)的至少一部分位于至少一个波导(114,116)之上。电流隔离区(128)被配置成占据微盘的中心区域的至少一部分,而且具有相对外围环形区而言更低的折射率和更大的带隙。
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