发明授权
- 专利标题: 穿过高密度互连HDI衬底材料上的电介质涂层形成固体盲孔的方法
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申请号: CN200880024740.1申请日: 2008-05-19
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公开(公告)号: CN101743786B公开(公告)日: 2011-12-21
- 发明人: K·C·奥尔森 , A·E·王
- 申请人: PPG工业俄亥俄公司
- 申请人地址: 美国俄亥俄州
- 专利权人: PPG工业俄亥俄公司
- 当前专利权人: PPG工业俄亥俄公司
- 当前专利权人地址: 美国俄亥俄州
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 申发振
- 优先权: 11/760,804 2007.06.11 US
- 国际申请: PCT/US2008/064070 2008.05.19
- 国际公布: WO2008/154123 EN 2008.12.18
- 进入国家日期: 2010-01-14
- 主分类号: H05K3/46
- IPC分类号: H05K3/46
摘要:
本发明提供了一种方法,其包括如下步骤:将第一可去除材料涂敷在导电核芯(10)上;在第一可去除材料中制作开口,以使导电核芯的部分暴露;将导电材料(34)镀敷到导电核芯的暴露部分上;将第二可去除材料涂敷在所述导电材料上;除去第一可去除材料;用电泳法将电介质涂层(44)涂敷在导电核芯上;以及除去第二可去除材料。
公开/授权文献
- CN101743786A 穿过高密度互连HDI衬底材料上的电介质涂层形成固体盲孔的方法 公开/授权日:2010-06-16