发明授权
- 专利标题: 有机电致发光器件及其制造方法
- 专利标题(英): Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof
-
申请号: CN200810227260.7申请日: 2008-11-25
-
公开(公告)号: CN101740726B公开(公告)日: 2012-09-19
- 发明人: 王玉林
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 刘芳
- 主分类号: H01L51/56
- IPC分类号: H01L51/56 ; H01L51/50
摘要:
本发明涉及一种有机电致发光器件及其制造方法,其中方法包括:步骤1、在基板上形成第一电极;步骤2、在基板上连续形成非光敏性有机绝缘材料和正性光刻胶,采用掩模板对正性光刻胶进行曝光,然后显影和刻蚀,并保留正性光刻胶,形成绝缘层图形;步骤3、在经过步骤2的基板上形成正性光刻胶,采用能够形成隔离柱的掩模板对步骤3中形成的正性光刻胶进行曝光和显影,形成隔离柱图形;步骤4、在经过步骤3之后的基板上形成有机材料层;步骤5、在经过步骤4之后的基板上形成第二电极。该方法避免采用价格昂贵的光敏性有机绝缘材料,能够降低绝缘层的生产成本,并克服绝缘层和隔离柱之间由于材料差异导致的接触不稳定的问题。
公开/授权文献
- CN101740726A 有机电致发光器件及其制造方法 公开/授权日:2010-06-16
IPC分类: