有机电致发光器件及其制造方法
摘要:
本发明涉及一种有机电致发光器件及其制造方法,其中方法包括:步骤1、在基板上形成第一电极;步骤2、在基板上连续形成非光敏性有机绝缘材料和正性光刻胶,采用掩模板对正性光刻胶进行曝光,然后显影和刻蚀,并保留正性光刻胶,形成绝缘层图形;步骤3、在经过步骤2的基板上形成正性光刻胶,采用能够形成隔离柱的掩模板对步骤3中形成的正性光刻胶进行曝光和显影,形成隔离柱图形;步骤4、在经过步骤3之后的基板上形成有机材料层;步骤5、在经过步骤4之后的基板上形成第二电极。该方法避免采用价格昂贵的光敏性有机绝缘材料,能够降低绝缘层的生产成本,并克服绝缘层和隔离柱之间由于材料差异导致的接触不稳定的问题。
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