一种激光晶体的加工方法
摘要:
本发明公开了一种超薄激光晶体的加工方法,属于晶体加工技术领域,包括将在真空吸附垫无粘性的一面均匀涂上少许水,将待加工晶体放在上面,挤压真空吸附垫,将水全部排出形成真空带,使晶体与真空吸附垫吸附牢固,将真空吸附垫有粘性的一面贴在铝盘上,将铝盘安装在二轴机上,根据需要加工待加工晶体的表面,加工完毕,待晶体冷却至室温时检查晶体面形,并将晶体下盘等步骤;采用本发明加工超薄激光晶体,产品在下盘后的面形不会变形,该方法加工超薄激光晶体面形能达到λ/10~λ/4,光洁度能达到20/10。
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