发明授权
CN101710524B 一种制备InAs室温铁磁性半导体材料的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种制备InAs室温铁磁性半导体材料的方法
- 专利标题(英): Method for preparing InAs room-temperature ferro magnetic semiconductor material
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申请号: CN200910241700.9申请日: 2009-12-02
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公开(公告)号: CN101710524B公开(公告)日: 2011-08-17
- 发明人: 朱峰 , 李京波
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周国城
- 主分类号: H01F1/40
- IPC分类号: H01F1/40 ; H01L41/22
摘要:
本发明公开了一种制备InAs室温铁磁性半导体材料的方法,包括以下步骤:利用化学清洗剂将InAs单晶片表面清洗干净,并利用酸刻蚀法去除表面氧化层和无机物;将处理干净的InAs单晶片放入沉积设备中,沉积一层金属扩散层;将沉积了金属扩散层的InAs单晶片放入石英管中,并抽真空后密封;将真空封闭的石英管放入加热设备中恒温加热,加速扩散过程;将加热过的石英管切割开后,取出InAs单晶片,并用酸性液体刻蚀掉多余金属。用化学清洗剂将InAs单晶片清洗干净,完成制备。利用本发明,能够制备出InAs体单晶的温度在300K以上的铁磁性半导体材料,且整个制备过程中所使用的设备都是技术成熟,产业常用的设备,而且缩短了制备成本和制备时间,非常利于推广。
公开/授权文献
- CN101710524A 一种制备InAs室温铁磁性半导体材料的方法 公开/授权日:2010-05-19