用于光学检查湿润表面的微电子传感器件
摘要:
本申请涉及用于在载体(10)的接触表面(12)处的研究区域(13)中进行光学检查的微电子传感器件和方法,其中输入光束(L1,L1′)从光源(20)发送到研究区域(13),并且其中来自研究区域(13)的输出光束(L2,L2′)由光检测器(30)检测。耦合到光检测器(30)的评估单元(50)适于根据输出光束(L2,L2′)的特性参数(例如其强度)确定研究区域(13)的湿润等级。在一个优选的实施例中,评估单元(50)适于确定接触所述接触表面(12)的液体引起的光强的变化。特别地,可以检测测试区域(14)中的湿润等级,所述测试区域位于研究区域(13)的邻近并且具有比研究区域(13)更高的粗糙度。
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